清掃工場のごみピット・バンカで発生する発火を初期段階で検知するために開発した赤外線式監視装置です。自動放水銃と連動させることにより、高精度の自動照準放水が可能になります。

スマートフォン・ガラス・レンズ・ハードディスクなどの表面の傷や内部の異物・気泡を目視で確認するための装置です。※ ポリッシュウエハーの曇り量を検査するタイプも製造しております。

半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置です。ウエハーエッジの寸法、角度、半径を測定することが可能です。