ごみピット発火監視装置、超高輝度照明装置

ポリッシュウエハーヘイズ目視検査用照明装置

ポリッシュウエハーに照射すると3条の検査マークを投影します。


UIH−1H型仕様

ランプ定格 15V 150W
設計照射径と距離 ランプ鏡筒先端から180mmでφ40mm
最高輝度 上記照射径中央にて約5万ルクス
50万ルクス時の照射径 約φ45mm
倍径時距離と輝度 360mm 約15万ルクス
輝度偏差と可変幅 最高輝度偏差:上限10%、下限20%  可変幅 10:1以上
最高輝度ランプ寿命 50時間以上
半輝度ランプ寿命 800時間以上
調光方式 SCR位相制御
ランプハウス内冷却 ファンによる強制空冷方式
ランプハウス内発熱監視 無し
ランプハウス冷却保持(※1) 無し
電源 AC100V トランス式
総重量 約7kg

※1 ランプ保護の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス内の温度が約40℃以下になるまで
    ファンによる冷却を保持する機能

 

UIH−1H外形図(PDF)
UIH−1H取扱説明書 Manual (PDF)

製品 (Product)関連ページ

修理 (Repair)
発火監視装置(TAMシリーズ)、超高輝度照明装置(UIH−1、UIH−2、UIH−3)、半導体ウエハー断面形状測定装置(WEMS、VSSW)等、測定装置製造メーカーサイト